科林研发首推半导体协作机器人Dextro 提升晶圆厂效率与良率
【记者吕承哲／台北报导】 Lam Research 科林研发（LRCX）日前推出全球首款协作机器人（cobot）Dextro，专为优化半导体晶圆制造设备的关键维护任务而设计。该产品已部署于多家先进晶圆厂，能以高精度执行维护保养，显著减少设备停机时间及生产变异，并促进一步到位（FTR）的良率提升。
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