2大对手卡关!传台积电首套High-NA EUV曝光机提早引进 还低于市价
【记者吕承哲/台北报导】随著先进制程进入埃米时代,荷兰半导体设备商艾司摩尔(ASML)的高数值孔径极紫外光 (High-NA EUV) 曝光机成为关键,英特尔目前已经取得全球首套设备,台积电业务开发资深副总裁张晓强先前声称,虽然他很喜欢High-NA EUV曝光机,但是太贵了,他认为台积电研发团队会持续专注在新一代EUV应用,并选择最合适的制程节点来使用。不过,有消息传出,台积电预计在9月底引进High-NA EUV曝光机,较先前猜测的年底更早。