中央社整理采访内容重点如下:
●工厂监测8座抽水井 防止过度抽取地下水
「熊本朝日放送」(KAB)今天报导,位于熊本县菊阳町的第一工厂,地上4层楼主要是无尘室,地下室则设置水处理设施。
营运熊本厂的台积电日本子公司JASM(日本先进半导体制造)水处理课员工山本淳二,本月稍早带领熊本朝日放送的采访团队前往地下2楼,面积约2万5000平方公尺、相当约4座足球场大的水处理系统区域。
生产半导体的过程中,洗净晶圆等制程需要消耗大量的水。而第一工厂的系统,不断监测著8座抽水井的水位,若水位降到特定数值以下,帮浦会自动停止运作,防止过度抽取地下水。
●产制半导体不容奈米级尘埃 3道制程产洗净用水
制造半导体过程中,不容许奈米级的尘埃附著。山本说明,「晶圆的电路宽度,以奈米为单位计算,水中参杂不纯物或离子的话,(这些东西)会卡在电路之间,导致产品异常,因此必须使用未参杂任何杂质的『超纯水』洗净,才不会影响产品」。
熊本厂透过3道工序产出「超纯水」,前段处理先使用过滤装置等设备去除杂质,接下来的中段处理则要去除含碳物质,最终则经过精炼处理。
经过处理的水,纯度之高,只允许相当于「在(长度)50公尺的游泳池,加入一小匙掏耳勺分量的不纯物」。
熊本朝日放送的报导写道,有人可能会有疑问,制造这种高纯度的水,是否必须使用熊本的地下水呢?
山本表示,「原水为地下水或水库的水并不重要」,因为这对于制造晶片而言都是不纯物,换言之,熊本县政府提案使用当地「龙门水库」未利用的水,当作半导体工厂的工业用水,技术上是可行的。
●日媒惊讶 废水被细分36种类别回收处理
产出的「超纯水」会被送到无尘室,拿去清洗晶圆过后,就会变成含有化学物质等杂质的废水。报导指出,其中最惊人的是工厂根据其种类与浓度,细分为36种不同的类别回收处理。
山本充满自信地说:「这些废水透过适当的回收处理,可被转化为干净的水」。据悉,经过处理的水平均可重复使用3.5次。
要洗净1平方公分的晶圆,全球半导体企业必须使用平均约12公升的水,而台积电只要5公升。台积电也把这项技术导入熊本厂,希望有助于节省用水量。