根据《日经亚洲》报导, High NA EUV 机台要价约3.5亿美元,换算超过110亿元新台币,报导指出,台积电考虑使用该设备生产A10制程,比起2025年就要开始量产的2奈米制程还要先进2代,若根据台积电先进制程蓝图规划,A16制程预计在2026年下半年投产,报导指出可能会等到2030年才会更广泛采用 High NA EUV 机台进行大规模量产。
根据先前消息,台积电要使用High NA EUV机台生产晶片,将等到2028年推出的改良版A14P制程。
在此之前,英特尔第一季成为全球首家收到High NA EUV 机台的半导体公司,并在第二季收到第二套,试图在先进制程挽回颓势;此外,三星也传出将在2025年取得设备。不过,从ASML先前揭露的财报显示,新增EUV订单遭到腰斩,外界推出台积电应该持续布局投资,可能是英特尔、三星在先进制程节点研发与量产的挫败,导致战略调整下,减少采用EUV机台所致。
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