高检署接获台积电提告后，7月底展开侦办行动，其中1名陈姓工程师为台积电前员工，和2名当时仍任职台积电的工程师勾结，窃取2奈米制程技术图档，3人被依涉嫌违反《国家安全法》声押禁见。
据《自由时报》报导，陈姓工程师是国立知名大学研究所硕士，曾担任台积电资深工程师近8年时间，2022年被日本半导体设备大厂东京威力科创（TEL）延揽，担任高级行销专员，负责台积电有关蚀刻设备相关服务，而他上面的主管也来自台积电，是拥有台大高学历的优秀女主管。
根据2023年公告的国家核心关键技术清单，将14奈米以下制程的IC制造技术及其关键气体、化学品及设备等纳入其中，因此台积电的2奈米制程技术属「国家核心关键技术」，依《国安法》恐面临最高12年有期徒刑、新台币1亿元罚金的刑责。
而东京威力科创也发声明，指称集团子公司1名前员工，经确认涉及台湾司法事件，已经解雇处分，并全面配合台湾司法当局调查，并表示经公司内部调查，截至目前未发现相关机密资讯外泄。
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