台积电在最新公布的ESG电子报说明，硫酸是半导体制程中关键化学品。为落实资源循环再利用，台积电自2014年起投入废硫酸回收技术研发，透过1.0版成功将废硫酸再生为工业级硫酸并回用于废水处理。然而长期运转下，设备腐蚀与内衬剥离问题逐渐浮现。为克服挑战，台积电深入研究化学反应机制，开发出以低腐蚀性催化剂取代盐酸的新方案，催化效率更高、使用量大幅减少；并导入搪玻璃反应器技术，以高温烧结方式在槽体内形成玻璃层，取代黏合内衬设计，有效避免高温剥离现象，确保系统长期稳定运行。
实际运转成果显示，新型催化剂使不锈钢设备腐蚀率降低98%，催化剂用量减少99%，化学反应时间缩短逾八成；搪玻璃反应器亦能防止内衬剥离，显著延长设备寿命。台积电表示，废硫酸回收系统2.0版将于2025年起纳入新厂区标准设计，深化物料再生与废弃物减量目标。
除废硫酸再生外，台积电也积极扩展整体绿色制造布局。台中零废制造中心自2023年试运转后，于2024年11月13日正式商转，成为全球半导体业首座整合型能资源循环场域，也是台积电首座循环经济示范中心。该中心设有氟化钙污泥、氧化矽污泥、有机溶剂热回收与异丙醇回收等四大厂区，确保废弃物资源不外流并达纯化再生标准。自启用以来，化学品回收再生率达100%，部分产物已供应其他产业使用，未来将开发电子级再生化学品，回用于半导体制程，打造封闭式绿色制造链。
在供应链协力下，各回收厂运作高效。成信实业营运的氧化矽污泥回收厂，透过干燥、焙烧与浸渍程序，制成矿石粉与硫酸铜；前者可用于塑胶、陶瓷工业，后者作为工业原料。立盈环保科技则负责气化钙污泥回收厂，产出人造萤石。萤石为钢铁业助熔剂，过去多仰赖中国进口，人造萤石价格不仅价格低且具低碳优势，纯度达97%以上可应用于电子级氢氟酸制程，展现高附加价值。
台积电指出，零废中心与供应商合作采「Build on Operation（BOO）」模式，由台积电提供场地与技术支持，供应商负责厂房建设与营运，形成共创共荣的绿色伙伴机制。
台积电以「一滴硫酸都不外运」为愿景，透过升级废硫酸回收系统与零废制造中心双轨运作，将废硫酸转制成高附加价值的衍生产品，应用于工业原料及建筑材料等领域，减少废弃资源对环境的影响，同时体现台积电对循环经济及永续发展的承诺，开创零废制造的新里程碑。
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