为了让台积电1.4奈米可在2027年顺利量产，王美花说，对于厂商在台湾的投资常常需要跨部会讨论，因为涉及用地、用水、用电需求等，本来就会常常讨论，台积电后续涉及议题很多，也会有很多讨论，会盘点科学园区、产业园区等设置情形，通盘检讨，不会只有一次讨论。
经济部目前手上的地主要是「中南部产业园区开发方案」为主，2020年为因应美中贸易战带来的台商返台投资潮，以中埔产业园区、水上产业园区、新市产业园区、北高雄产业园区（九阄农场）设置速度最快。
高雄市政府经济发展局优先以白埔农场为推动基地，「白埔产业园区」面积为88.56公顷，位处高雄市冈山区及桥头区界、交通便捷，预计发展电子零组件制造业、电脑、电子产品及光学制品制造业及其他半导体相关产业等。
国科会辖下的科学园区，北中南都有规划有半导体产业用地，包括推动中的台中园区二期扩建、桥头园区、台南园区三期扩建、以及楠梓园区等新设或扩建园区。
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